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Saubere Mikro-Lithografie --- |
Marcel Alexander Buth Sehr geehrte Damen und Herren, Mit Interesse habe ich Ihre Ausführungen verfolgt. Mich würde interessieren, ob es noch weiterführende Literatur zum Verfahren gibt. Mit welcher Geschwindigkeit wurden die Strukturen erzeugt? Können auch dickere Aluminiumschichten auf diese Weise bearbeitet werden? MfG, Marcel Buth | |
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